无人搬送车可通过高度精确的导航系统在复杂的路线上灵活运动，将载体运往工艺设备。设备上装配有多关节的机械臂，能够在地面上行驶，可“直接”进入保管设备及工艺设备。
| 产品范围 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
| 额定负载 | Max20Kg |
| 货仓数量 | 4、8pcs，可定制 |
| 运行速度 | Max60m/min |
| 装载时间 | 25-30sec |
| 洁净环境 | Class 100 - Class 1000 |
智佳能服务热线：
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