FOUP Stocker 是半导体工厂的自动保管仓库，具备多层存放空间，主要用于半导体工厂的 FOUP 自动化搬送、存 储，实现晶圆在工艺之间的流转。
| 产品范围 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
| 额定负载 | Max20Kg |
| 运动控制 | X轴、Z轴、R轴、货叉伸缩轴 |
| 运动速度 | X轴 120m/min，Z轴120m/min |
| 货叉周期 | 2sec |
| 洁净环境 | Class 100 - Class 1000 |
智佳能服务热线：
0755-28179806
